微機電技術

04 / 18 . 2016
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19-工研院微系統中心_微機電技術 (2)

氣體感測元件的組成包含微型加熱板、嵌入式溫度感測器以及採用金屬氧化物作為氣體感測層材料。以電路操控毫秒等級快速壓控加熱器(Micro-hotplate),高絕熱薄膜內建微型溫度計設計,配合薄膜感材達到微型超低功耗的氣體感測目標,晶片尺寸0.9 mm x 0.9 mm x 0.4 mm。

微機電技術-01

微機電技術-02

微機電技術-03

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