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微機電技術

19-工研院微系統中心_微機電技術 (2)

氣體感測元件的組成包含微型加熱板、嵌入式溫度感測器以及採用金屬氧化物作為氣體感測層材料。以電路操控毫秒等級快速壓控加熱器(Micro-hotplate),高絕熱薄膜內建微型溫度計設計,配合薄膜感材達到微型超低功耗的氣體感測目標,晶片尺寸0.9 mm x 0.9 mm x 0.4 mm。

微機電技術-01

微機電技術-02

微機電技術-03

微機電技術-04

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工研院微系統中心

聯絡人:黃豈苙
電話:03-5914382

工業技術研究院

工業技術研究院成立於1973年,是國際級的應用科技研發機構,擁有近6千位科技研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。成立四十年來,累積超過2萬件專利,並新創及育成260家公司,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化等上市櫃公司。 為因應產業環境趨勢,工研院除持續深化技術前瞻性與跨領域技術整合外,更提供全方位的研發合作與商業顧問服務,包括新技術與新產品委託開發、小型試量產、製程改善、檢校量測,以及技術移轉、智權加值服務等,並設置開放實驗室及育成中心,積極推動及育成新創公司,加速產業技術開發及孕育新興高科技產業。
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